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FSU-8光刻胶(FSU-8 negative fluorinated photoresist)

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FSU-8光刻胶(FSU-8 negative fluorinated photoresist)

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产品描述

规格:本产品符合以下指标    

Specification:Meet the following criteria

项目 Project

指标 Index

外观 

Appearance

无色透明液体

Colorless transparent liquid

折射率(n20D

Refractive Index(n20D

1.5154

光损耗

Optical loss

0.21dB/cm(1550 nm)

粘度(pa.s,25℃)

Viscosity(pa.s,25℃)

250

匀胶厚度(μm)

Film thickness(μm)

0.5-200

聚合度

Degree of polymerization

4-8

包装 Packaging

100ml、250ml、500ml

 

新型的含氟FSU- 8 胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶,具有传统SU-8光刻胶的优点:适合于制备高深宽比微结构可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形;它还具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性。FSU- 8 含有大量的C-F键,可以进一步的增加材料的耐腐蚀性、耐候性并且在通讯波长(850、1310、1550nm)具有极低的光学损耗、低双折射率、高稳定性材料的折射率在1.483~1.588范围内可调,适宜于制作阵列式光波导、光栅、直型波导等光通信、调制、传输等器件。

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暂未实现,敬请期待
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